成果名称 | 压印设备 | 成果来源 | ||
合作意向 | 所处阶段 |
本实用新型属于微纳米级结构材料和器件的加工技术领域,尤其涉及一种压印设备。本实用新型解决现有的压印设备在热压印大面积的被压印物时存在被压印物成型质量差的问题。本实用新型的压板由加压装置驱动,支撑板被弹性元件顶抵且限制在导柱的长度范围内移动,压版上固定有由压模与被压印物贴合形成的压印组件,只要使用加压装置,再配合弹性元件,即可让支撑板与压板实现靠近或分离,而压模与被压印物相抵实现压印。该压印设备结构简单、操作方便而且成型质量好,能够实现特征尺寸20nm到2000nm的图形转移,适于大量制备各种纳米电子器件、光学器件、存储器、纳米流体通道、生物芯片等。
主要应用行业 | 知识产权形式 |
研发单位 | 单位电话 | 65798346 | |
所属单位 | 是否园区单位 |
联系人 | 企业服务部 | 联系人电话 | 65798346 |