本发明公开了一种综合利用氟硅酸钠高效生产氟化钠、氟化铝和四氯化硅的方法，所述方法包括流态化干燥工序、流态化分解工序、气相沉积工序、汽化工序和冷凝工序。在本方法中，氟硅酸钠经过流态化干燥得到无水氟硅酸钠；然后进入流态化分解工序，得到氟化钠产品以及富四氟化硅的混合气；在气相沉积工序，富四氟化硅的混合气与汽化后的三氯化铝反应，得到氟化铝产品和富四氯化硅混合气；富四氯化硅混合气经过冷凝工序得到四氯化硅产品，冷凝工序尾气送碱洗塔处理。本方法具有流程短，能耗低，环境友好，产品附加值高等优点。