专利名称 | 气体流量调节装置及质量流量控制器 | ||
申请号 | CN201810792867.3 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN110735930A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 北京七星华创流量计有限公司 | 发明人 | 杜井庆; 何漫丽; 苏乾益 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器,其包括:阀口部件,在该阀口部件中设置有第一进气通道;推杆部件,在推杆部件中设置有第一通孔,且在第一通孔中设置有推杆,推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对;并且,推杆通过弹性隔膜与推杆部件弹性连接;驱动组件用于驱动推杆沿靠近或远离第一进气通道的方向移动,以使推杆的第一端面与第一进气通道的出气端接触密封或者分离。本发明提供的气体流量调节装置,其不仅可以简化结构、减少与气体接触的零件数量,而且可以避免因簧片失效而带来的故障。 |