专利名称 | 一种压电式MEMS声传感器 | ||
申请号 | CN201911117499.3 | 申请日 | |
公开(公告)号 | CN110793708A | 公开(公告)日 | |
申请(专利权)人 | 联合微电子中心有限责任公司 | 发明人 | 吴鹏程; 曾怀望; 张永平; 焦文龙 |
专利来源 | 国家知识产权局 | 转化方式 | |
摘要 |
本发明提供的一种压电式MEMS声传感器,包括基底、内部电极区及外部电极区,外部电极区位于内部电极区的外围,所述内部电极区与外部电极区均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层、中间电极、下压电层和底电极;内部电极区中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔;在基底的顶部设置有下支撑层,内部电极区及外部电极区均位于下支撑层上,在内部电极区及外部电极区的顶面均设置有由硅基材料制成的上支撑层。本发明具有的灵敏度高,耐静水压能力增强:能使MEMS声传感器满足不同耐压及工作水深的应用需求。 |