本实用新型公开了一种三氟化硼络合物净化处理装置，包括装置主体、控制器和气泵，所述装置主体内部的中间活动设置有中空转轴，所述装置主体的底端安装有气泵，所述装置主体顶端的一侧安装有电机，所述装置主体的两侧分别设置有储药箱和气体净化箱，所述储药箱的顶端安装有水泵，所述气体净化箱内部的一侧设置有清洗液箱，且清洗液箱的一侧设置有集风罩和活性炭过滤层，所述活性炭过滤层一侧的两端均设置有紫外线照射灯，所述气体净化箱一侧设置有出风口，所述装置主体一侧的底端设置有出液口，所述装置主体顶端的一侧安装有控制器。本实用新型可以降低三氟化硼络合物中的水分，减少副产物的产生，且可以净化气体，便于对装置进行清洗。